低温等离子工业废气除臭装置处理原理为：在外加电场的作用下，介质放电产生的大量携能电子轰击污染物分子，使其电离、解离和激发，然后便引发了一系列复杂的物理、化学反应，使复杂大分子污染物转变为简单小分子形式的安全物质，或使有毒有害物质转变成无毒无害或低毒低害的物质，从而使污染物得以降解去除。因其电离后产生的电子平均能量在10ev ，适当控制反应条件可以实现一般情况下难以实现或速度很慢的化学反应变得十分快速。在强大电场能量轰击下污染气体分子化学键被打断，转化为无污染的小分子。电离后的气体分子颗粒，分子团，可以通过等离子管壁吸附下来，成液体状从设备排泄口流出。氧分子电离后重新结合成高浓臭氧，有机气体在臭氧的强氧化作用下，生成二氧化碳、水等小分子无污染成份。
低温等离子工业废气除臭装置性能特点：
1、高科技创新产品：是依靠等离子体在瞬间产生的强大电场能量电离、 裂解有害气体的化学键能，从而破坏废气分子结构，达到净化目的。
2、废气净化：本设备能处理挥发性有机物(VOC)、无机物、硫化氢、氨气、硫醇类等主要污染物，以及各种恶臭味，除臭效率高。
3、无需添加任何物质：低温等离子体废气处理是一种干法净化过程，是一种全新的净化过程，运行过程无需添加任何添加剂，不产生废水、废渣，不会导致二次污染。
4、适应性强：持久的净化功能，无须专人看管。可适应高浓度、大气量、不同气态物质的净化处理，特别是在潮湿,甚至空气湿度饱和的环境下仍可正常运行。
5、低耗节能：运行费用低廉,本设备无任何机械动作，自动化程度高,工艺简洁,随用随开操作简单方便.无需专人管理和日常维护，遇故障自动停机报警，只需作定期检查。
6、设备组合性强：“低温等离子体”设备重量轻，体积小，可按场地要求立放、卧放，可根据废气浓度、流量、成份进行串、并组合设计达到废气净化。
7、设备使用寿命长：由不锈钢材，铜材、钼材、环氧树脂等材料组成，对酸、碱气体、潮湿环境等具有良好的防腐性能。
8、安全：“低温等离子体”设备内使用电压在36伏以下，安全可靠。